安川變頻器應(yīng)用于半導(dǎo)體真空泵行業(yè)

更新時(shí)間：2024-06-20

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半導(dǎo)體是指常溫下導(dǎo)電性能介于導(dǎo)體與絕緣體之間的材料。我們?nèi)粘Ｉ钪械碾娮赢a(chǎn)品，如計(jì)算機(jī)、等當(dāng)中的核心單元都和半導(dǎo)體有著極為密切的聯(lián)系。

在半導(dǎo)體制造的多個(gè)工藝環(huán)節(jié)中，包括刻蝕、鍍膜等等。為了提高半導(dǎo)體制造過(guò)程的精度和均勻性，半導(dǎo)體工藝必須在極度受控的真空環(huán)境中運(yùn)行。而獲得真空環(huán)境所需的設(shè)備即為真空泵。

今天要給大家介紹的是安川變頻器產(chǎn)品在真空泵設(shè)備中的應(yīng)用。

半導(dǎo)體用干式真空泵設(shè)備

半導(dǎo)體成膜工藝

半導(dǎo)體用真空泵一般容易存在啟動(dòng)、加速響應(yīng)慢，抽速不夠穩(wěn)定；運(yùn)行效率不高；開(kāi)放大氣時(shí)易發(fā)生過(guò)載、過(guò)流故障而停機(jī)；面對(duì)雷雨季節(jié)及供電環(huán)境不好時(shí)，易因瞬時(shí)停電或電壓暫降而造成真空泵停機(jī)，造成半導(dǎo)體生產(chǎn)損失。

采用安川變頻器后設(shè)備的特性

1.穩(wěn)定性

高響應(yīng)性，抗沖擊負(fù)載能力強(qiáng)，使真空泵穩(wěn)定運(yùn)行。

2.高啟動(dòng)轉(zhuǎn)矩

轉(zhuǎn)矩極限可根據(jù)速度切換，使泵在啟動(dòng)及加速過(guò)程更快，更穩(wěn)定。

3.高效性

應(yīng)對(duì)半導(dǎo)體不同工藝，通過(guò)專用功能，防止過(guò)載前提下保證真空泵高效運(yùn)行。

4.節(jié)能

可高效、穩(wěn)定驅(qū)動(dòng)配置PM電機(jī)的真空泵，更加節(jié)能。

5.高信賴性

即使發(fā)生瞬時(shí)停電或電壓暫降，可使真空泵保持輸出，電壓恢復(fù)后繼續(xù)運(yùn)行。

安川變頻器在國(guó)內(nèi)外的真空泵設(shè)備上廣泛應(yīng)用，業(yè)內(nèi)度高。能夠使半導(dǎo)體用真空泵在不同的半導(dǎo)體工藝下，穩(wěn)定、高效運(yùn)行，滿足客戶需求。

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