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ULVAC愛發(fā)科 精品 便攜式 高速光譜 橢偏儀

ULVAC愛發(fā)科 精品 便攜式 高速光譜 橢偏儀

透明或半透明薄膜(氧化膜、氮化膜、抗蝕劑、ITO等)的膜厚、折射率、消光系數(shù)的測量

  • 產(chǎn)品型號:UNECS-Portable
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時(shí)間:2024-11-23
  • 訪  問  量:528
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ULVAC愛發(fā)科 精品 便攜式 高速光譜 橢偏儀 

ULVAC愛發(fā)科 精品 便攜式 高速光譜 橢偏儀 


輕便緊湊的便攜式


UNECS系列是一款光譜橢偏儀,可高速、高精度測量薄膜的厚度和折射率。測量方法,實(shí)現(xiàn)高速測量和緊湊化。我們提供廣泛的產(chǎn)品陣容,以適應(yīng)不同的應(yīng)用,包括便攜式類型、自動平臺類型和與真空環(huán)境兼容的內(nèi)置類型。

UNECS-Portable 是一款便攜式型,重量輕、結(jié)構(gòu)緊湊,測量單元重量僅為 2.2 kg,方便攜帶。包含一個(gè)用于小樣品的簡單固定載物臺,并且可以從載物臺上拆下以測量大樣品。

用途

透明或半透明薄膜(氧化膜、氮化膜、抗蝕劑、ITO等)的膜厚、折射率、消光系數(shù)的測量

特征

高速測量:

采用快照方式,實(shí)現(xiàn)了最高速度20ms的高速測量。

兼容可見光譜:

波長范圍可選擇標(biāo)準(zhǔn)型(530nm~750nm)和可見光譜型(380nm~760nm)。

緊湊的傳感器單元:

光發(fā)射/接收傳感器僅由光學(xué)元件組成,沒有旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu),并且非常輕便和緊湊,并且不需要定期維護(hù)。

豐富的產(chǎn)品陣容:

我們擁有可適應(yīng)各種應(yīng)用的產(chǎn)品陣容,包括便攜式類型、手動/自動平臺類型、大型基板類型以及與大氣/真空環(huán)境兼容的內(nèi)置類型。

規(guī)格

波長范圍530~750nm、380~760nm(任選其一)
光斑直徑φ1mm、φ0.3mm(任選其一)
入射角度70o固定
膜厚再現(xiàn)性1σ = 0.1nm
膜厚范圍1nm?2μm
測量時(shí)間受光:20ms ? 3000ms 演算:300ms
階段固定式(φ150mm以下、可拆卸)
控制電腦筆記本型(帶操作/分析軟件)
機(jī)器構(gòu)成測量本體(帶固定載物臺)、控制箱、光源裝置
操作電腦(筆記本型)、使用說明書(CD)


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